Kelių lanko dangos jonų šaltinis yra pagrįstas šalto katodo vakuuminio lanko išleidimu. Katodo tikslinėje medžiagoje yra dėmių. Dėmės skleidžia metalinius garus ir jonizuoja jonus. Jonai nusėda ant ruošinio paviršiaus, kad susidarytų danga. Kelių lanko dangos jonų šaltinio veikimo principas yra generuoti lanko išleidimą vakuuminėje aplinkoje per katodo tikslinę medžiagą, kad būtų sudarytas didelio tankio plazma. Kai srovė praeis pro tikslinę medžiagą, ant paviršiaus susidarys mažos dėmės ir judės dideliu greičiu. Šios dėmės išgaruos ir jonizuos tikslinę medžiagą, kad gautų metalo jonus. Šie jonai pagreitinami skristi link ruošinio, veikiant elektriniam laukui, ir galiausiai nusėda ant paviršiaus, kad sudarytų vienodą ir tankią dangą.
