Optinio dangos aparato darbo eiga paprastai apima šiuos pagrindinius veiksmus: išankstinį apdorojimą, dangą, filmų stebėjimą ir reguliavimą, aušinimą ir pašalinimą. Konkretus procesas gali skirtis priklausomai nuo įrangos tipo (pvz., Garinimo dangos mašina, dulkinimo dangos mašina ir kt.) Ir dangos procesą (pvz., Vieno sluoksnio plėvelė, daugiasluoksnė plėvelė ir kt.), Tačiau paprastai optinės dangos procesas yra toks:
1. Paruošimo etapas
Optinių komponentų valymas ir paruošimas:
Prieš dengdami, reikia kruopščiai išvalyti optinius komponentus (tokius kaip lęšiai, filtrai, optinis stiklas ir kt.). Šis žingsnis yra pagrindas užtikrinti dangos kokybę. Įprasti valymo metodai yra ultragarsinis valymas, rūgščių valymas, garų valymas ir kt.
Išvalyti optiniai komponentai paprastai dedami ant pasukimo įtaiso arba dangos mašinos spaustuko sistemos, kad būtų užtikrinta, jog dengimo proceso metu jie gali išlikti stabilūs.
Išankstinis vakuuminės kameros apdorojimas:
Prieš dedant optinius komponentus į dangos aparatą, dangos kamerą reikia evakuoti iki tam tikro vakuumo laipsnio. Vakuuminė aplinka gali efektyviai pašalinti priemaišas, deguonies ir vandens garus ore, neleisti jiems reaguoti į dangos medžiagą ir užtikrinti plėvelės grynumą ir kokybę.
Paprastai dangos kamerai turi pasiekti didelį vakuumą (nuo 10 iki 10⁻⁶ PA) arba vidutinio vakuumo (nuo 10⁻³ iki 10⁻⁴ PA).
2. Dengimo procesas
Pradėkite dangos šaltinį:
Dengimo šaltinis paprastai priima garinimo šaltinį arba purškiamąjį šaltinį. Skirtingi dangos šaltiniai bus parinkti pagal skirtingus dangos procesus ir medžiagas.
Garinimo šaltinis: Naudokite šildymo įrangą (pvz., Elektronų pluošto garintuvą arba atsparumo šildymo garintuvą), kad dengimo medžiaga būtų įkaitinta iki garinimo būsenos, kad jos molekulės ar atomai išgaruos ir nusodintų ant optinio elemento paviršiaus vakuume.
Durding Šaltinis: Taikant aukštą įtampą, kad tikslinė medžiaga susidėtų su jonais, tikslinės medžiagos jonais, atomais ar molekulėmis, yra išpjaustytos, o šie atomai ar molekulės nusėda ant optinio elemento paviršiaus, kad susidarytų plona plėvele.
Plonas plėvelės medžiagos nusėdimas:
Vakuuminėje aplinkoje dangos medžiaga išgaruoja arba spurtai iš šaltinio (pvz., Garinimo šaltinis ar tikslinė medžiaga) ir palaipsniui telkia ant optinio elemento paviršiaus.
Nusodinimo greitis ir plėvelės storis turi būti tiksliai kontroliuojami, kad būtų užtikrinta, jog plėvelės sluoksnis yra vienodas, tęstinis ir atitinka projektavimo reikalavimus. Parametrai nusodinimo proceso metu (pavyzdžiui, srovė, dujų srautas, temperatūra ir kt.) Tiesiogiai paveiks plėvelės kokybę.
Plonas plėvelės stebėjimas ir storio valdymas:
Dengimo proceso metu plėvelės storis ir kokybė paprastai stebimi realiuoju laiku. Dažniausiai naudojami stebėjimo įrankiai apima tokius jutiklius kaip ** kvarco kristalų mikrobalansas (QCM) **, kurie gali tiksliai nustatyti plėvelės nusėdimo greitį ir storią.
Remdamasis šiais stebėjimo duomenimis, sistema gali automatiškai sureguliuoti parametrus, tokius kaip dangos šaltinio galia, dujų srautas ar komponento sukimosi greitis, kad būtų išlaikytas plėvelės sluoksnio konsistencija ir vienodumas.
Daugiasluoksnis filmas (jei reikia):
Optiniams komponentams, kuriems reikalinga daugiasluoksnė plėvelės struktūra, dangos procesas paprastai atliekamas sluoksniu. Po kiekvieno plėvelės sluoksnio nusodinus, sistema atliks pakartotinį plėvelės storio aptikimą ir sureguliavimą, kad įsitikintų, jog kiekvieno sluoksnio kokybė atitinka projektavimo reikalavimus.
Šis procesas reikalauja tiksliai valdyti kiekvieno sluoksnio storio ir medžiagos tipą, kad kiekvienas sluoksnis galėtų veikti tam tikrame bangos ilgio diapazone, pavyzdžiui, atspindys, perdavimas ar trukdžiai.
3. Vėsinimas ir pašalinimas
Aušinimas:
Po dangos reikia atvėsinti optinius komponentus ir dangos mašiną. Kadangi įranga ir komponentai padengimo metu gali įkaisti, per aušinimo sistemą (pvz., Vėsinantį vandenį ar oro srautą) juos reikia atvėsinti iki kambario temperatūros, kad būtų išvengta šiluminės žalos.
Kai kuriuose aukštos temperatūros dengimo procesuose aušinimas ne tik apsaugo optinius komponentus, bet ir leidžia plėvelei pasiekti optimalų sukibimą ir stabilumą.
Optinių komponentų pašalinimas:
Po aušinimo optinius komponentus galima pašalinti iš dangos mašinos.
Prieš pašalindami, reikia patikrinti dangos efektą, įskaitant plėvelės sluoksnio vienodumą, storis, sukibimą ir kt., Kad būtų užtikrinta, kad dangos kokybė atitiktų reikalavimus.
4. Po gydymo (neprivaloma)
Filmo sukietėjimas:
Kartais plėvelę po dangos reikia sukietėti, kad būtų pagerintas plėvelės atsparumas įbrėžimams ir patvarumui. Paprastai tai atliekama termiškai apdorojant arba ultravioletiniu švitinimu.
Filmo valymas:
Norint pašalinti teršalus, riebalus ar kitas nešvarumus ant plėvelės paviršiaus, gali reikėti šiek tiek valyti, pavyzdžiui, plauti, ultragarsinį apdorojimą ir kt.
5. Kokybės patikrinimas ir bandymai
Optinio našumo testas: Po dangos optiniai komponentai, įskaitant pralaidumą, atspindį, plėvelės vienodumą ir kt., Atliekama atlikimo testų serija, kad būtų užtikrinta, jog jie atitinka techninius reikalavimus.
Adhezijos testas: patikrinkite, ar sukibimas tarp plėvelės ir substrato yra tvirtas atliekant juostos ar įbrėžimo bandymą.
Aplinkos stabilumo testas: Kartais stabilumo testai aplinkos sąlygomis, tokiomis kaip temperatūra, drėgmė ir ultravioletiniai spinduliai, reikalingi, kad būtų užtikrintas dangos sluoksnio patikimumas faktiniuose tiksluose.
