Įvadas į vakuuminį dangos mašiną

Padengtas substratas vadinamas substratu, o padengta medžiaga vadinama taikiniu. Substratas ir taikinys yra toje pačioje vakuumo kameroje.
Garinimo danga paprastai šildo taikinį taip, kad paviršiaus komponentai būtų išgaruojami atominių grupių ar jonų pavidalu. Ir jis nusistovi ant substrato paviršiaus ir sudaro ploną plėvelę per plėvelės formavimo procesą (išsibarsčiusios taškų salos struktūros ir vagos struktūros augimas). Dulkinimo danga ji gali būti tiesiog suprantama kaip tikslo bombardavimas elektronais ar didelėmis energijos lazeriais, o paviršiaus komponentus dulkinti atominių grupių ar jonų pavidalu ir galiausiai nusodindamas ant substrato paviršiaus, po filmo formavimo proceso ir galiausiai formuojant ploną plėvelę.