Daugelyje PVD projektų dažnai susiduriama su labai tipiška problema:
Tame pačiame ruošinyje kai kurios sritys yra labai storos, o kitos yra labai plonos, kartais su labai akivaizdžiais skirtumais.
Pirmoji daugelio žmonių reakcija yra tokia: ar yra problemų dėl besisukančio rėmo? Ar sukimasis netolygus?
Taigi jie pradeda: tikrinti variklį, reguliuoti greitį, optimizuoti armatūrą.
Tačiau rezultatas dažnai būna toks: pagerėjimas yra ribotas arba iš viso nepasikeitė.
Tai iliustruoja pagrindinį dalyką:
Netolygus storis yra ne tik „sukimosi problema“, bet ir „plazmos pasiskirstymo problema“.
Pirma, išvada: tai „erdvinio pasiskirstymo problema“.
Plėvelės storis iš esmės priklauso nuo: atominio srauto, pasiekiančio paviršių per laiko vienetą.
Ir šis srautas dažnai yra: erdviškai nevienodas.
Kitaip tariant: „medžiagos srautas“, kurį gauna ruošinys, įvairiose vietose skiriasi.
Antra. Ką tiksliai išsprendžia rotacija?
Daugelis žmonių rotaciją supranta taip:
„Padarykite filmo sluoksnį lygų“
Tačiau tikslesnis supratimas yra toks:
Rotacija tiesiog „vidurkina nelygumus“, o ne jį pašalina.
Paprastas pavyzdys: Jei plazmos pasiskirstymas yra: stiprus vienoje pusėje, silpnas vienoje pusėje, po pasukimo: ruošinys periodiškai pereis per stiprias ir silpnas sritis. Rezultatas: gaunama „vidutinė vertė“.
Bet prielaida yra tokia:
Skirtumas negali būti per didelis
Jei skirtumas per didelis:
Kad ir kiek jį pasuktumėte, jis niekada nebus visiškai lygus.
Trečia. Kada kyla „rotacijos problema“?
1 funkcija: storis periodiškai keičiasi
Pavyzdžiui:
Storis reguliariai keičiasi su kiekvienu apsisukimu
2 ypatybė: prastas skirtingų ruošinių nuoseklumas; vieni geri, kiti blogi.
3 funkcija: žymiai pagerėjo greičio reguliavimas.
Dažnos priežastys: Nestabilus sukimosi greitis; Sukimosi ekscentriškumas; Asimetriškas ruošinio išdėstymas.
Išvada: pagrindinė sukimosi problemų problema yra „netolygus laiko pasiskirstymas“.
Pirmyn. Kada tai „plazmos problema“? (Dažniau)
1 charakteristika: visada stora tam tikra kryptimi
Nesvarbu, kaip jis sukasi, šis regionas visada yra storesnis.
2 funkcija: bendras „erdvinis poslinkis“
Pavyzdžiui: arčiau tikslo esanti pusė yra storesnė, o toliau esanti pusė yra plonesnė.
3 savybė: visų ruošinių raštai yra panašūs.
Dažnos priežastys:
1. Netolygus magnetinio lauko pasiskirstymas; Netolygi taikinio erozija; Netolygus plazmos tankis
2. Ertmės struktūros įtaka: Obstrukcija, Refleksija
3. Kelių-taikinių trukdžiai: netolygi skirtingų taikinių superpozicija.
4. Neprotingas ruošinio padėties projektavimas
Išvada:
Plazmos problemos esmė yra „nelygus erdvinis šaltinis“
Penkta. Pagrindinis klaidingas supratimas
Daugelis žmonių, susidūrę su nelygumais,
pirmoji jų reakcija – reguliuoti sukimąsi. Tačiau iš tikrųjų: rotacija gali tik palengvinti problemą, o ne ją išgydyti.
Jei pagrindinė priežastis yra didelis plazmos nehomogeniškumas, sukimosi greičio padidinimas yra tik laikinas sprendimas.
Šešta. Kaip greitai nustatyti problemos tipą?
Štai praktinis metodas:
1 būdas: pritvirtinkite ruošinį (nesukant)
Stebėkite: Plėvelės storio pasiskirstymą
Jei šiuo metu: pasiskirstymas jau labai netolygus; Išvada: plazmos problema.
2 būdas: pakeiskite sukimosi greitį
Jei:
Sukimosi greičio pokytis → Reikšmingas vienodumo pokytis
Išvada: Rotacinė problema
3 būdas: pakeiskite ruošinio padėtį
Jei: Keisti padėtį → Keisti pasiskirstymą
Išvada: erdvinio pasiskirstymo problema
Septintas. Tikrai veiksmingos optimizavimo strategijos
1. Pirmenybę teikite sprendžiant „erdvinį pasiskirstymą“
Optimizuoti tikslinę padėtį; reguliuoti magnetinį lauką; pagerinti ertmės struktūrą
2. Toliau optimizuokite rotacijos strategiją
Sukimosi greitis
Sukimosi trajektorija
Virpesių režimas
3. Optimizuokite ruošinio išdėstymą: venkite kliūčių ir pagerinkite simetriją.
4. Kelių-tikslinių bendradarbiavimo dizainas: skirtingų taikinių įgalinimas sudaryti „vienodą superpoziciją“.
Aštuntas. Pagrindinis pažinimo atnaujinimas
Daugelis žmonių šią problemą supranta taip:
"Nelygi membranos struktūra yra mechaninė problema."
Tačiau esminis supratimas yra toks:
Tai „netolygaus masinio transporto“ problema.
Kitaip tariant, medžiagos kelias nuo taikinio iki ruošinio yra erdviškai nevienodas.
Devintas. Galutinė santrauka
Ar didelis to paties ruošinio storio skirtumas yra su sukimu ar plazma{0}}susijusi problema?
Atsakymas yra toks:
Tai gali būti sukimosi problema, bet dažniau tai yra plazmos paskirstymo problema. Pagrindinis skirtumas yra:
Rotacijos problemos → laiko netolygumas; Su plazma{0}}susijusios problemos → erdviniai nelygumai.
