Mano šalies vakuuminių dangų pramonėje šiuo metu daugiausia dėmesio skiriama apdailai. Tačiau dekoratyvinė danga palaipsniui vystosi link modelio, kuriame derinamas atsparumas dilimui ir estetinis patrauklumas, o tai labai teigiamas pokytis gerinant vakuuminio dengimo įrangos gamybos technologinį lygį ir vakuuminio jonų dengimo technologijos pažangą.
Be to, paruoštos -atsparios dilimui ir trintį-mažinančios plėvelės uždėjimas ant kitų pagrindinių komponentų buvo labai geras pavyzdinis vaidmuo taupant energiją ir didinant efektyvumą. Jis gali pakeisti kai kuriuos pradinius galvanizavimo procesus ir atlieka labai gerą aplinkos apsaugos vaidmenį.
Šiuo metu daugelyje mechaniškai veikiančių kietų plonų plėvelių (ypač pjovimo įrankių) tarptautiniu mastu naudojamas katodinis lankinis nusodinimas (CAD). Tačiau pagrindinė techninė CAD problema yra dėl to atsirandantis plėvelės paviršiaus nelygumas ir daugybė dalelių, turinčių įtakos taikymo našumui. Ši kietųjų dalelių problema ypač rimta naudojant vietinę CAD įrangą. Nors įdiegus magnetinio filtravimo technologiją galima išspręsti dalelių problemą, nusodinimo efektyvumas yra tik apie 1/10 pradinio, o nusodinimo plotas yra mažas, todėl gamybos ciklai yra ilgi, gamybos sąnaudos yra didelės ir netinkama masinei gamybai. Priešingai, naudojant magnetroninio purškimo technologiją, gaunamos plėvelės su lygiais, smulkiais paviršiais, vidutiniu nusodinimo greičiu ir galimybe tolygiai nusodinti plonas plėveles dideliuose plotuose.
Tačiau magnetroninio purškimo technologija taip pat turi trūkumų, tokių kaip mažas jonizacijos greitis (paprastai apie 10 %), todėl plėvelės kietumo, atsparumo dilimui ir sukibimo požiūriu yra prastesnės nei pagamintos katodiniu lankiniu dulkinimu. Atliekant chemiškai reaktyvias dangas (pvz., TiN ir TiO2), dėl mažo jonizacijos greičio ir prasto metalo dalelių reaktyvumo reikia įleisti per daug reaktyvių dujų, kurios gali apnuodyti magnetrono taikinio paviršių (cheminė reakcija), o tai gali sukelti daugybę į laviną panašių pasekmių, tokių kaip staigus garavimo greičio sumažėjimas. Dėl to magnetronu purškiančios reaktyvios dangos tampa nestabilios ir nekontroliuojamos.
Todėl rinkoje atsirado daugiafunkcinės jonų vakuuminės dengimo mašinos. Atlikus išsamius bandymus ir pramoninį pritaikymą, šis projektas padarė šias išvadas:
(1) Suprojektuota daugiafunkcė jonų dengimo mašina, derinanti kelias dengimo technologijas, yra sėkminga, o bendras nustatytos dangos sistemos veikimas yra pirmaujantis Kinijoje.
(2) Šia įranga galima paruošti didelio-ploto, nebrangias, lygias, tankias ir didelio -našumo deimantines-kaip anglies (DLC) plėveles ir metalo nitrido (arba karbido) daugiasluoksnes daugiasluoksnes plėveles, pasižyminčias puikiomis savybėmis.
(3) Specialaus daugiasluoksnio gradiento tarpinio pereinamojo sluoksnio ir dopingo technologijos naudojimas sumažina vidinį įtempį, pagerina plėvelės/padėklo sukibimą ir palengvina plėvelės augimą (iki 6 mm storio).
(4) Paruošta DLC plėvelė pasižymi puikiomis visapusiškomis savybėmis: kietumas > 20 GPa (iki 37,25 GPa), reguliuojamas storis (iki 6 mm), plėvelės/substrato sukibimas > 50 N (iki 100 N), trinties koeficientas < 0,2, lygi ir subtili plėvelė.
(5) Sukurtos matricos/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC kelių{1}}elementų daugiasluoksnės dilimui-atsparios ir karščiui-atsparios savaiminio-tepimo dangos pasižymi puikiomis visapusiškomis savybėmis: kietumas iki 28,7 GPa/1, plėvelės storis reguliuojamas 4 mm. 70 N, o trinties koeficientas mažesnis nei 0,2.
(6) Sukurta susidėvėjimui-atspari ir trintį{2}}mažinanti plėvelė sėkmingai pritaikyta įvairioms didelio-tikslumo formoms ir tiksliams pagrindiniams komponentams. Taikymo rezultatai rodo, kad plėvelės paviršių stiprinantis poveikis yra reikšmingas, o tai gali labai pagerinti gaminio kokybę ir tarnavimo laiką.
