fizinis nusodinimas garais, skirtas optiniam įrenginiui, turi įdėti plėvelės medžiagą į vandeniu-aušinamą varinį tiglį ir tiesiogiai naudoti elektronų pluošto kaitinimą, kad plėvelės medžiagoje esantys atomai ar molekulės išgaruotų ir pasišalintų nuo paviršiaus, tada patenka į pagrindo paviršių ir kondensuojasi į plėvelę.
Elektronų pluošto garinimas turi didesnį šiluminį efektyvumą, didesnį pluošto srovės tankį, greitesnį garavimo greitį ir didesnį plėvelės grynumą nei bendrasis atsparumas kaitinant.
Programos:
Optinio dengimo mašina gali padengti įvairias plėvelių sistemas daugybe sluoksnių, pvz., trumpųjų -bangų pralaidumo, ilgųjų-bangų pralaidumo, anti--atspindinčios plėvelės, atspindinčios plėvelės, filtro plėvelės, spektroskopinės plėvelės, juostos pralaidumo plėvelės, dielektrinės plėvelės, stipriai-atspindinčios plėvelės, spalvotai atspindinčios plėvelės ir kt.
Jis gali padengti 0–50 plėvelės sluoksnių plėvele, taip pat gali atitikti tokių gaminių, kaip automobilių atspindintis stiklas, akiniai, optiniai lęšiai, šaltos šviesos puodeliai ir kt., dangos reikalavimus.
Jis gali padengti įvairias plėvelių sistemas skirtingais garavimo šaltiniais, elektronų patrankomis, jonų šaltiniais ir plėvelės storio matuokliais, taip pat gali išgarinti metalus, oksidus, junginius ir kitas aukšto -lydymosi-plėvelių medžiagas.
Savybės:
Optinėje fizinėje garų nusodinimo mašinoje yra kvarco kristalo plėvelės storio matuoklis, o PLC ir jutiklinio ekrano sistema yra sujungta, kad būtų galima automatiškai valdyti visą darbo procesą, pasižymintį puikiu darbo efektyvumu ir produkto kokybės pakartojamumu.
Tinka naudoti gamintojams optinėje srityje ir didelio masto{0}}pramoninės gamybos reikalavimams.
Specifikacija:
| Optinio dengimo mašina | |||||||
|
Modelis |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kameros dydis |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600×1800MM |
Φ1000×1100MM |
Φ1200×1400MM |
Φ1600×1800MM |
|
Vakuuminis įrenginys |
KT500 difuzinio siurblio blokas |
KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzinis siurblys |
Dvigubas KT630 difuzinis siurblys |
KT500 difuzinio siurblio blokas |
KT630 difuzijos siurblio blokas |
Dvigubas KT630 difuzinis siurblys |
|
Dengimo sistema |
Elektroninio pistoleto garavimo šaltinis, dangos pagalbinis jonų maitinimo šaltinis arba Hall jonų šaltinis |
||||||
|
Infliacijos sistema |
Slėgio reguliatorius |
||||||
|
Kontrolės metodas |
Rankinis arba visiškai automatinis |
||||||
|
Plėvelės storio stebėjimo sistema |
Kvarcinio kristalo plėvelės storio stebėjimo sistema |
||||||
|
Siurbimo greitis |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Galutinis vakuumas |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Pastaba |
Aukščiau pateikti įrangos parametrai yra skirti tik nuorodai ir yra suprojektuoti bei pritaikyti pagal faktinius klientų proceso reikalavimus. |
||||||
Populiarus Žymos: fizinis garų nusodinimo aparatas optiniam, Kinijos fizinis garų nusodinimo aparatas, skirtas optikos gamintojams, tiekėjams, gamyklai
